[J081p] クリーンエネルギー社会に貢献するエネルギー変換技術

[J081p-05] 楕円型チャンバによるマイクロ波プラズマ生成装置の開発

〇片桐 冴羽¹、藤田 萩乃¹、深見 正¹ (1. 金沢工業大学)

キーワード：

プラズマ、楕円型チャンバ、医療応用

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