[J133] マイクロナノ理工学

11:00 〜 11:15

[J133-04] 非弾性散乱光を用いた三次元形状計測に関する研究　
―弾性散乱光との比較による表面検出特性の評価―

〇権 寧河¹、増井 周造¹、道畑 正岐¹、高橋 哲¹ (1. 東京大学)

キーワード：

形状計測、レーザ共焦点、分光計測、ラマン散乱光、自家蛍光