[J133p] マイクロナノ理工学

[J133p-05] 水潤滑下のナノストライプ構造の摩擦摩耗特性

〇吉田 匠¹、安藤 泰久¹ (1. 東京農工大学)

キーワード：

トライボロジー、水潤滑、半導体プロセス