[J222p] マイクロ・ナノ機械デバイスとその信頼性

[J222p-05] 微細パターニングとシェア試験によるCNT複合ポリイミド薄膜の密着強度評価

〇藤井 達也¹、藤井 海成¹、鈴木 庸久¹、野村 光由¹ (1. 秋田県立大学)

キーワード：

CNT複合ポリイミド、薄膜、密着強度、微細パターニング、シェア試験