[J222p] マイクロ・ナノ機械デバイスとその信頼性

[J222p-10] ２点同時レーザー光反射強度計測による金属膜表面温度の高速マッピング

〇村上 大志¹、霜降 真希²、土屋 智由²、三宅 修吾¹ (1. 摂南大学、2. 京都大学)

キーワード：

非接触温度計測、金属薄膜、サーモリフレクタンス