[J224p] マイクロ・ナノ材料創成とそのデバイス応用

[J224p-05] マイクロコイル実現に向けた自己ロールアップ作製プロセスの改善

〇山田 利幸¹、田渕 湧輝¹、兼松 大揮¹、岡 智絵美¹、秦 誠一¹ (1. 名古屋大学)

キーワード：

マイクロコイル、MEMS、薄膜金属ガラス、自己ロールアップ