[S051p] 流体工学の基礎と応用

[S051p-28] 前傾平板上液膜への水平噴射液滴衝突に伴うスプラッシュ挙動に及ぼす帯電場の影響

〇坂本 勇雅¹、宗像 瑞恵¹、吉川 浩行¹、出石 佑樹²、本武 幸一²、菅野 至² (1. 熊本大学、2. 東京エレクトロン九州株式会社)

キーワード：

Electrostatic field、Droplet impingement、Splash、Liquid film、Wettability、Spin cleaning

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