[S114p] 機械システムにおける機構の設計と要素技術

[S114p-11] DDモータを用いたナット直接駆動型超精密位置決めステージの開発

〇内田 実希¹、堤 博貴¹、山本 啓達¹、金谷 恵太¹、大島 圭登¹ (1. 東京工業高等専門学校)

キーワード：

ボールねじ、超精密位置決め、ナット直接駆動型、DDモータ