講演情報

[S161-05]固相拡散接合の接合強度向上と低温接合の実現に向けた接合面の表面活性化の取り組み

〇山崎 絢太1、眞銅 雅子1、横山 奨1 (1. 大阪工業大学)

キーワード:

拡散接合、高分子樹脂、プラズマ