講演情報

[2P28]プラズモン共鳴下における光酸発生剤の光反応特性

*扇 穂乃花1、加納 更紗1、今枝 佳祐2、龍﨑 奏2、上野 貢生2 (1. 北大院総化、2. 北大院理)

キーワード:

プラズモン、光酸発生剤、光リソグラフィー