講演情報

[251T]銅めっき膜形成過程の評価に向けたその場観察中性子反射率測定用試料セルの開発

*宮田 登1、髙田 歩2、大越 康晴2、吉良 弘1、三田 一樹1、青木 裕之3,4 (1. CROSS, 2. 東京電機大学大学院, 3. JAEA J-PARCセンター, 4. KEK物構研)