講演情報

[1H05]シロキサンポリマーの構造が誘電特性に及ぼす影響

*中村 優志1、玉井 聡行1、渡瀬 星児1 (1. 大阪産業技術研究所)

キーワード:

シロキサンポリマー、低誘電材料、ゾルゲル反応


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