[A-4] 超音波

12:00 〜 12:15

[A-4-05] BAW型エピタキシャル圧電薄膜昇圧素子

〇木下 紗里那^1,2、岸 大貴^1,2、小林 栞^1,2、柳谷 隆彦^1,2 (1. 早稲田大、2. 材研)

キーワード：

圧電薄膜、圧電トランス、レクテナ、エピタキシャル成長