[C-6] 電子部品・材料

9:15 〜 9:30

[C-6-02] 強誘電体／酸化物半導体積層を用いた可変容量素子の検討

〇宮迫 毅明¹、高 相圭¹、細倉 匡¹ (1. 株式会社村田製作所)

キーワード：

強誘電体、酸化物半導体、可変容量素子、IPD、大電荷制御