[C-6] 電子部品・材料

9:30 〜 9:45

[C-6-03] Li₂Oドープアモルファスカーボン薄膜の諸特性

〇矢島 賢土¹、石川 博康¹ (1. 芝浦工業大学)

キーワード：

アモルファスカーボン、太陽電池、RFマグネトロンスパッタリング