[SO3] ショートオーラルセッション3

[IS3-32] 8kHzビジュアルフィードバックを用いたMEMSミラー高精度任意角度制御

*松井 克宜¹、杉山 行信¹、中村 和浩¹、宅見 宗則¹、鈴木 一隆¹、豊田 晴義¹ (1. 浜松ホトニクス)

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