講演情報

15:45 〜 17:40

[IS2-25]チョクラルスキー法を用いた単結晶Si引上中のボディ部における晶癖線検出法の研究

*久保田雄斗¹、栗原徹¹、西原雄太² (1. 高知工科大学、2. 株式会社エム・セテック)