Session Details
[CI-2]インフォマティクス技術の半導体デバイス・プロセス応用
Wed. Mar 6, 2024 1:45 PM - 5:00 PM JST
Wed. Mar 6, 2024 4:45 AM - 8:00 AM UTC
Wed. Mar 6, 2024 4:45 AM - 8:00 AM UTC
School of Engineering 111(HIROSHIMA UNIVERSITY Higashi-Hiroshima campus)
Chair:Sugita Kenichi, Arai Manabu
本シンポジウムでは、近年産業界で導入が進んでいる機械学習や最適化アルゴリズムに代表される情報科学(インフォマティクス)技術が半導体デバイス開発および製造へどのように適用できるかについて情報提供の場としたく存じます。大学や産業界の最前線の方々に、半導体材料・デバイス開発におけるマテリアルズ・インフォマティクス(MI)やプロセス・インフォマティクス(PI)の適用事例、研究開発の最前線や将来展望などについてご紹介していただき議論します。
Chair Greeting
[CI-2-01]Application of information science to development of semiconductor devices and processes
○Kentaro Kutsukake1,2 (1. RIKEN, 2. Nagoya Univ.)
[CI-2-02]Strategies for Utilizing Process Informatics in Semiconductor Manufacturing Processes
○Masaki Takaishi1 (1. Aixtal)
[CI-2-03]Process informatics techniques for innovation of SiC bulk growth technology
○Hidekazu Tsuchida1, Toru Ujihara2, Shunta Harada2, Kentaro Kutsukake3, Kenta Murayama4, Masaki Takaishi5 (1. CRIEPI, 2. Nagoya Univ., 3. RIKEN, 4. Mipox, 5. AIxtal)
Break time
[CI-2-04]Examples of Informatics Applications in Semiconductor Device Manufacturing Process
○Yoshitsugu Yamamoto1 (1. Mitsubishi Electric Corp.)
[CI-2-05]Application of information technology to semiconductor manufacturing processes
○Tsuyoshi Moriya1 (1. Tokyo Electron Ltd.)
[CI-2-06]Machine learning based automated design of silicon power MOSFET
○Hiro Gangi1, Yasunori Taguchi1, Tomoaki Inokuchi1, Kouta Nakata1, Kazuto Takao1 (1. Toshiba)