[19a-A601-1~9] 7.1 X-ray technologies

10:15 AM - 10:30 AM JST(1:15 AM - 1:30 AM UTC)

[19a-A601-5] Measurement of Sn ion energy and estimation of target density distribution to extend lifetime of the collector mirror for EUV light source

〇Yoshiyuki Honda¹, Shinji Nagai¹, Tomoyoshi Toida¹, Hirokazu Hosoda¹, Takeru Niinuma², Masaki Kume², Hiroki Morita², Takeshi Higashiguchi² (1.Gigaphoton Inc., 2.Utsunomiya Univ.)

Keywords:

Extreme Ultra Violet,Laser Produced Plasma

Snプラズマより発生する高速Snイオンのエネルギー低減を目的に、Sn液滴(DL)ならびにSn ミストターゲットのサイズを変化させた場合のイオンエネルギー計測を実施した。また、宇都宮大学にて開発しているデブリ計算コードを用いてEUV 変換効率(CE)の計算を行い実験値と比較した。結果として、DLやミストサイズによらずイオンエネルギーの最大値は一定であった。ターゲットの中心に残留している高密度なSnから高速イオンが発生したと考える。