講演情報
[19a-A601-5]EUV光源コレクタミラーの長寿命化に向けたSnイオンエネルギー計測とターゲット密度分布の推定
〇本田 能之1、永井 伸治1、筧田 知慶1、細田 裕計1、新沼 大登2、久米 真樹2、森田 大樹2、東口 武史2 (1.ギガフォトン株式会社、2.宇都宮大学)
キーワード：
極端紫外線,レーザー生成プラズマ
Snプラズマより発生する高速Snイオンのエネルギー低減を目的に、Sn液滴(DL)ならびにSn ミストターゲットのサイズを変化させた場合のイオンエネルギー計測を実施した。また、宇都宮大学にて開発しているデブリ計算コードを用いてEUV 変換効率(CE)の計算を行い実験値と比較した。結果として、DLやミストサイズによらずイオンエネルギーの最大値は一定であった。ターゲットの中心に残留している高密度なSnから高速イオンが発生したと考える。