Presentation Information
[19a-B201-5]α-Quartz-β-Cristobalite alloy-like model for thermally-oxidized SiO2 film on Si wafers
〇Eiji Kamiyama1,2, Koji Sueoka2 (1.GlobalWafers Japan Co., Ltd., 2.Okayama Pref. Univ.)
Keywords:
Silicon Oxidation,Quartz,Cristobalite
前回の応物 [1]に引き続き，Si結晶を酸化して得られるSiO2の原子構造について検討する．前回はSi結晶と関連しそうなSiO2結晶との比較より，Si結晶の酸化に際し，格子間Siの放出を伴わずにSi結晶の構造を引き継いだβ-Cristobaliteが残存する可能性 [1]について言及した．そこで本講演では，Si結晶の酸化で生成するSiO2膜について，格子間Si放出により生成するα-Quartzとβ-Cristobaliteの「合金」モデルを提唱し，両結晶の比率を算出することを目的とする．
[1] 神山他 2023年春応物15a-D511-7.
[1] 神山他 2023年春応物15a-D511-7.