[19a-B201-1~9] 15.7 結晶評価，不純物・結晶欠陥

10:15 〜 10:30

[19a-B201-5] Siウェーハの熱酸化SiO₂膜のα-Quartz‐β-Cristobalite「合金」モデル

〇神山 栄治^1,2、末岡 浩治² (1.グローバルウェーハズ・ジャパン㈱、2.岡山県立大情報工)

キーワード：

シリコン酸化,クォーツ,クリストバライト

前回の応物 [1]に引き続き，Si結晶を酸化して得られるSiO₂の原子構造について検討する．前回はSi結晶と関連しそうなSiO₂結晶との比較より，Si結晶の酸化に際し，格子間Siの放出を伴わずにSi結晶の構造を引き継いだβ-Cristobaliteが残存する可能性 [1]について言及した．そこで本講演では，Si結晶の酸化で生成するSiO₂膜について，格子間Si放出により生成するα-Quartzとβ-Cristobaliteの「合金」モデルを提唱し，両結晶の比率を算出することを目的とする．
[1] 神山他 2023年春応物15a-D511-7.