[19p-P01-1~75] 17 Nanocarbon and Two-Dimensional Materials (Poster)

[19p-P01-49] Effect of additive Na compounds on monolayer MoS₂ synthesis using CVD method

〇Yuki Goto¹, Akihisa Ogino¹ (1.Shizuoka Univ.)

Keywords:

MoS2,Na compounds,XPS

MoS₂は二次元層状材料として注目を集めており、CVD法による大面積の単層MoS₂の合成が期待されている。Na化合物によるMoS₂の成長促進効果に着目し、一般的に前駆体として使用されるMoO₃と融点の近いNaClとNa₂SO₄をCVD合成における添加物として用いた。本研究では、合成後のMoS₂薄膜をX線電子分光法により解析し、CVD合成において添加したNa化合物が与える効果について考察した。