講演情報
[19p-P01-49]CVD法を用いた単層MoS2合成におけるNa化合物の効果
〇後藤 有生1、荻野 明久1 (1.静大院工)
キーワード：
二硫化モリブデン,ナトリウム化合物,X線電子分光法
MoS2は二次元層状材料として注目を集めており、CVD法による大面積の単層MoS2の合成が期待されている。Na化合物によるMoS2の成長促進効果に着目し、一般的に前駆体として使用されるMoO3と融点の近いNaClとNa2SO4をCVD合成における添加物として用いた。本研究では、合成後のMoS2薄膜をX線電子分光法により解析し、CVD合成において添加したNa化合物が与える効果について考察した。