[19p-P01-1~75] 17 Nanocarbon and Two-Dimensional Materials (Poster)

[19p-P01-50] Fabrication and characterizations of heterostacks of CVD-hBN and CVD-MoS₂ prepared using functional tapes

〇Mai Kuroki¹, Satoru Fukamachi², Maki Nakatani², Zongpeng Ma¹, Satoshi Honda³, Atsushi Yasui³, Hiroki Ago^1,2 (1.Kyushu Univ., 2.Kyushu Univ. GIC, 3.Nitto Denko)

Keywords:

MoS2,hBN,transfer

複数のグラフェンや遷移金属ダイカルコゲナイド(TMD) 、六方晶窒化ホウ素（hBN）などからなる2.5次元物質は、優れた特性を示し、デバイスなどの応用が期待されている。CVD合成した二次元物質の積層には、PMMAを保護膜として用いたウェットプロセスによる転写法が一般的であるが、課題が多い。本研究では、二次元物質の転写に特化した機能性テープを用いてCVD合成した大面積の多層hBNと単層MoS₂の積層構造を作製し、MoS₂の光学特性について検討した。