Presentation Information
[20a-A301-7]Evaluation of wafer in-plane variation in Minimal Fab
〇Hiroyoshi Hongoh1, Shiro Hara1,2,3 (1.MINIMAL, 2.AIST, 3.HUNDRED)
Keywords:
minimalfab
ミニマルファブで作成したトランジスタ特性に変動をもたらす要因について考察をすすめた。そこで得られた、トランジスタの面内位置とその電気的特性の関係について報告する。