講演情報

10:45 〜 11:00

[20a-A301-7]ミニマルファブにおけるウェハ面内ばらつきの評価

〇本郷仁啓¹、原史朗^1,2,3 (1.ミニマル、2.産総研、3.Hundred Semiconductors)

ミニマルファブ

ミニマルファブで作成したトランジスタ特性に変動をもたらす要因について考察をすすめた。そこで得られた、トランジスタの面内位置とその電気的特性の関係について報告する。