Presentation Information
[20p-A202-10]Controlling the Generated Charge During Two-fluid Spraying Using an Inductive Charging Element
〇Yoshiyuki Seike1, Hiroharu Suzuki1, Yusuke Ichino1, Noriyuki Taoka1, Tatsuo Mori1 (1.Aichi Inst. of Technol.)
Keywords:
semiconductor,cleanning,electrostatic discharge
流体スプレーでの洗浄は，ウェハ上の素子を電気的に破損してしまう静電気障害 が生じる問題がある．本報告では、二流体スプレー時に発生する電流を測定し、液滴の帯電は正極性を示し，飛行液滴の速度が速いほど増加することを確認した．また静電気障害を減らすことを目的に，純水の噴射直後に誘導帯電素子を設置し，強電界中にスプレーすることによって，純水液滴の帯電量を制御できることを確認した．