Presentation Information
[20p-A302-10]Fabrication and characterization of conductive α-(AlxGa1-x)2O3 thin films
〇Tatsuya Yasuoka1, T. Giang Dang2, Li Liu2, Kawaharamura Toshiyuki1,2 (1.Sys. Eng., KUT, 2.Res. Ins., KUT)
Keywords:
aluminum gallium oxide
導電性α-(AlxGa1-x)2O3は十分に検討されておらず、また、バンドギャップがどれくらいの大きさまで導電性を維持出来るのかも十分に分かっていない。本研究では、Siドープα-(AlxGa1-x)2O3の作製を試みた。なお、本研究の内容は2020年に論文にて報告しているが、これまで日本語での発表の機会がなかったため今回報告する。