[20p-A302-1~15] 21.1 合同セッションＫ 「ワイドギャップ酸化物半導体材料・デバイス」

15:30 〜 15:45

[20p-A302-10] 導電性α-(Al_xGa_1-x)₂O₃薄膜の作製とその評価

〇安岡 龍哉¹、ダン タイジャン²、劉 麗²、川原村 敏幸^1,2 (1.高知工大シス工、2.高知工大総研)

キーワード：

酸化アルミニウムガリウム

導電性α-(Al_xGa_1-x)₂O₃は十分に検討されておらず、また、バンドギャップがどれくらいの大きさまで導電性を維持出来るのかも十分に分かっていない。本研究では、Siドープα-(Al_xGa_1-x)₂O₃の作製を試みた。なお、本研究の内容は2020年に論文にて報告しているが、これまで日本語での発表の機会がなかったため今回報告する。