Presentation Information
[20p-A302-9]Growth of α-Ga2O3 thin films with low defect density on Cr2O3 single crystals
〇Morimichi Watanabe1, Kazuto Murakami1, Noboru Nishimura1 (1.NGK INSULATORS, LTD.)
Keywords:
Ga2O3,defect,dislocation
α-Cr2O3単結晶上への低欠陥α-Ga2O3薄膜成長について報告する。a軸長がα-Ga2O3に近いα-Cr2O3単結晶を下地基板として成膜した結果、サファイア上に成長したα-Ga2O3膜と比較して欠陥密度が約1/1000まで低減した。当日はCr2O3上、サファイア上α-Ga2O3膜の欠陥の相違を解析した結果も示す。