講演情報
[20p-A302-9]Cr2O3単結晶上への低欠陥α-Ga2O3薄膜成長
〇渡邊 守道1、村上 和仁1、西村 昇1 (1.日本ガイシ（株）)
キーワード：
酸化ガリウム,欠陥,転位
α-Cr2O3単結晶上への低欠陥α-Ga2O3薄膜成長について報告する。a軸長がα-Ga2O3に近いα-Cr2O3単結晶を下地基板として成膜した結果、サファイア上に成長したα-Ga2O3膜と比較して欠陥密度が約1/1000まで低減した。当日はCr2O3上、サファイア上α-Ga2O3膜の欠陥の相違を解析した結果も示す。