[20p-A309-1~19] 6.1 Ferroelectric thin films

5:00 PM - 5:15 PM JST(8:00 AM - 8:15 AM UTC)Presentation by Applicant for JSAP Young Scientists Presentation Award

[20p-A309-15] Characterization of crystal structure under application of an electric field for (100)/(001)-oriented tetragonal Pb(Zr,Ti)O₃ films

〇(M2)MIKI NAKAHATA¹, KAZUKI OKAMOTO¹, KEISUKE ISHIHAMA¹, TOMOAKI YAMADA^2,3, HIROSHI FUNAKUBO¹ (1.Tokyo Tech., 2.Nagoya Univ., 3.MDX Tokyo Tech.)

Keywords:

piezoelectric response,tetragonal PZT films,domain structure

Pb(Zr, Ti)O₃(PZT)薄膜は圧電MEMS応用で広く使用されている。PZT膜の圧電・強誘電特性の計算は単純なドメイン構造では広く検討されてきたが、 (100)/(001)配向のようなマルチドメイン構造を持つ系の場合には、ドメイン間の相互作用などの存在によりこれまで十分な検討が行われていない。本研究では、膜厚の異なる (100)/(001)配向正方晶PZT膜をエピタキシャル成長させた。さらに、電界印加下におけるドメインの格子定数およびドメインの体積分率の変化を評価した。