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[20p-A309-19]Ferroelectricity of Ce and Mn co-doped ZnO thin films

〇Rei Ogawa1, Kiyotaka Tanaka1, Hideaki Adachi1, Isaku Kanno1 (1.Kobe Univ.)

Keywords:

Ferroelectric thin film,ZnO,Wurtzite structure

ウルツ鉱構造結晶における強誘電性の発現が注目を集めている。これらの報告では,ウルツ鉱構造結晶の陽イオンを置換すること で,絶縁破壊電圧を高め,分極反転に必要な電圧を低下させることによって,強誘電性を実現し ている。今回我々は,ZnO の抗電界を低下および絶縁性向上を目的としてそれぞれ Ce および Mn の 2 元素で共置換した Zn1-x(Ce,Mn)xO 薄膜を作製し,強誘電性の発現に成功したので報告する。