[20p-B101-1~16] 15.4 III-V-group nitride crystals

2:30 PM - 2:45 PM JST(5:30 AM - 5:45 AM UTC)

[20p-B101-5] Optical Characteristics for BGaN films using Tilt Polishing Process

〇Ryoya Ozeki¹, Daisuke Nakamura¹, Ryohei Kudo¹, Tetsu Ito^1,3, Kohei Shima², Shigefusa Chichibu², Takayuki Nakano^1,3 (1.Shizuoka Univ., 2.Tohoku Univ., 3.R.I.E.Shizuoka Univ.)

Keywords:

MOVPE,BGaN

ホウ素窒化ガリウム（BGaN）は、III-N系紫外発光素子の可能性を広げる材料としても期待されている。しかし、BGaNは光学特性に関する研究報告が少なく詳細な特性は解明されていない。そこで本研究では、BGaN成長層が発光ピークに与える影響を調べるため、斜め研磨を行い詳細な光学特性を調査した。その結果、BGaN層が発光層として機能しておらず、吸収層としてのみ機能していることが示唆された。