講演情報
[20p-B101-5]斜め研磨加工を用いたBGaN薄膜の光学特性評価
〇小関 凌也1、中村 大輔1、工藤 涼兵1、伊藤 哲1,3、嶋 紘平2、秩父 重英2、中野 貴之1,3 (1.静大院工、2.東北大多元研、3.静大電研)
キーワード：
有機金属気相成長,ホウ素窒化ガリウム
ホウ素窒化ガリウム（BGaN）は、III-N系紫外発光素子の可能性を広げる材料としても期待されている。しかし、BGaNは光学特性に関する研究報告が少なく詳細な特性は解明されていない。そこで本研究では、BGaN成長層が発光ピークに与える影響を調べるため、斜め研磨を行い詳細な光学特性を調査した。その結果、BGaN層が発光層として機能しておらず、吸収層としてのみ機能していることが示唆された。