[20p-B201-1~9] 13.4 Si processing /Si based thin film / MEMS / Equipment technology

1:30 PM - 1:45 PM JST(4:30 AM - 4:45 AM UTC)Presentation by Applicant for JSAP Young Scientists Presentation Award

[20p-B201-1] Supression of process variation of serpentine spring constant for MEMS devices by gold multi-layer metal technology

〇(M1)Kisuke Miyado¹, Akira Onishi¹, Devi Srujana Tenneti¹, Katsuyuki Machida¹, Tomoyuki Kurioka¹, Pathojit Chakraborty¹, Mark Tso-Fu¹, Masato Sone¹, Yoshihiro Miyake¹, Hiroyuki Ito¹ (1.Tokyo Tech.)

Keywords:

MEMS,Serpentine Spring,gold multi-layer metal technology

本論文は、高分解能Au錘静電容量型MEMS加速度センサのための九十九折ばねの作製後のばらつきが大きいという課題解決を目的としている。本検討ではプロセス上のばらつきに着目し、プロセスによるばね定数へのばらつきの影響を検討した。ばねの厚さと幅が九十九折ばねの支配的パラメータであり、プロセスばらつきを強く受けることを明らかにした。プロセスばらつきを抑制した九十九折ばね設計手法の構築を可能にした。