[20p-B201-1~9] 13.4 Si系プロセス・Si系薄膜・MEMS・装置技術

13:30 〜 13:45奨励賞エントリー

[20p-B201-1] Au積層メタル技術によるMEMSデバイスの九十九折ばね定数ばらつき抑制の検討

〇(M1)御宿 希祐¹、大西 哲¹、Tenneti Devi Srujana¹、町田 克之¹、栗岡 智行¹、Chakraborty Pathojit¹、Tso-Fu Mark¹、曽根 正人¹、三宅 美博¹、伊藤 浩之¹ (1.東工大)

キーワード：

MEMS,九十九折ばね,Au積層メタル技術

本論文は、高分解能Au錘静電容量型MEMS加速度センサのための九十九折ばねの作製後のばらつきが大きいという課題解決を目的としている。本検討ではプロセス上のばらつきに着目し、プロセスによるばね定数へのばらつきの影響を検討した。ばねの厚さと幅が九十九折ばねの支配的パラメータであり、プロセスばらつきを強く受けることを明らかにした。プロセスばらつきを抑制した九十九折ばね設計手法の構築を可能にした。