[20p-B201-1~9] 13.4 Si processing /Si based thin film / MEMS / Equipment technology

1:45 PM - 2:00 PM JST(4:45 AM - 5:00 AM UTC)Presentation by Applicant for JSAP Young Scientists Presentation Award

[20p-B201-2] Vibration measurement of a nanomechanical resonator in liquid using a convolutional neural network

〇(M1)Kazuki Bessho¹, Shin'ichi Warisawa¹, Reo Kometani¹ (1.The Univ. of Tokyo)

Keywords:

NEMS/MEMS,nanomecanical resonator,Convolutional Neural Network

微小機械振動子は、共振特性の変化を計測することで様々な微小物理量を高感度に検出することが出来る。しかし液中では粘性減衰により感度は著しく低下する。本研究では、畳み込みニューラルネットワーク(CNN)による振動スペクトル解析を用いた振動測定手法について、有効性を評価した。実験はアセトン水溶液の濃度識別を通じて行われた。実験の結果、CNNを用いた手法で従来の手法では困難だった濃度の識別を達成した。