講演情報
[20p-B201-2]畳み込みニューラルネットワークを利用した液中微小機械振動子の振動測定
〇(M1)別所 和樹1、割澤 伸一1、米谷 玲皇1 (1.東大新領域)
キーワード：
NEMS/MEMS,微小機械振動子,畳み込みニューラルネットワーク
微小機械振動子は、共振特性の変化を計測することで様々な微小物理量を高感度に検出することが出来る。しかし液中では粘性減衰により感度は著しく低下する。本研究では、畳み込みニューラルネットワーク(CNN)による振動スペクトル解析を用いた振動測定手法について、有効性を評価した。実験はアセトン水溶液の濃度識別を通じて行われた。実験の結果、CNNを用いた手法で従来の手法では困難だった濃度の識別を達成した。