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[20p-C402-5]Orientation change of sp2 bonded carbon in amorphous carbon films by laser irradiation

Naoki Umada1, Yuko Aono1, Masahito Niibe2,3, Kazuhiro Kanda3, Yuki HIrata1, Naoto Ohtake1, 〇Hiroki Akasaka1 (1.Tokyo Inst. of Tech., 2.Univ. of Tokyo, 3.Univ. of Hyogo)

Keywords:

amorphous carbon films,orientation change of sp2 bonded carbon,laser irradiation

X線吸収分光(XAS)のX線入射角度依存性から水素化アモルファス炭素膜の一部で,sp2結合炭素から成る六員環に弱い配向性を有する膜がある膜があることがこれまでに示された.本研究ではこのsp2炭素の配向性のレーザ照射による変化をとらえた.