講演情報
[20p-C402-5]アモルファス炭素膜のsp2結合炭素配向性のレーザ照射による変化
馬田 直樹1、青野 祐子1、新部 正人2,3、神田 一浩3、平田 祐樹1、大竹 尚登1、〇赤坂 大樹1 (1.東工大、2.東大、3.兵庫県大)
キーワード:
アモルファス炭素膜,sp2結合炭素配向性,レーザ照射
X線吸収分光(XAS)のX線入射角度依存性から水素化アモルファス炭素膜の一部で,sp2結合炭素から成る六員環に弱い配向性を有する膜がある膜があることがこれまでに示された.本研究ではこのsp2炭素の配向性のレーザ照射による変化をとらえた.