[21a-A202-1~11] 17.3 Layered materials

11:15 AM - 11:30 AM JST(2:15 AM - 2:30 AM UTC)

[21a-A202-9] Low-Power NO₂ sensing using a Monolithic Micro-LED/MoS₂ Gas Sensor

〇Hiroshi Tabata¹, Shuhei Ichikawa¹, Koutarou Fujii¹, Shu Nishimura¹, Toshihiro Ishihara¹, Yasuhumi Fujiwara¹, Mitsuhiro Katayama¹ (1.Osaka Univ.)

Keywords:

gas sensor,MoS2,micro-LED

MoS2薄膜を用いた光活性化ガスセンサは室温動作で低消費電力動作が期待されているが、光源を含めた素子の低消費電力化が未達成であった。今回、青色マイクロLED素子上にMoS₂ガスセンサを搭載させた一体型センサを作製した。µLEDの異なる発光強度下でNO₂ガス曝露に対する応答を調査した結果、消費電力52μWの低強度光照射でも明確な光活性化応答が確認され、低消費電力動作を実証することができた。