講演情報
[21a-A202-9]μLED/MoS2 一体型ガスセンサを用いた低消費電力NO2 センシング
〇田畑 博史1、市川 修平1、藤井 耕太郎1、西村 周1、石原 聡啓1、藤原 康文1、片山 光浩1 (1.阪大院工)
キーワード：
ガスセンサ,MoS2,µLED
MoS2薄膜を用いた光活性化ガスセンサは室温動作で低消費電力動作が期待されているが、光源を含めた素子の低消費電力化が未達成であった。今回、青色マイクロLED素子上にMoS2ガスセンサを搭載させた一体型センサを作製した。µLEDの異なる発光強度下でNO2ガス曝露に対する応答を調査した結果、消費電力52μWの低強度光照射でも明確な光活性化応答が確認され、低消費電力動作を実証することができた。