Presentation Information
[21a-B101-6]AlN/n-SiC bulk acoustic resonator operated in the extremely high-frequency regime
〇Megumi Kurosu1, Daiki Hatanaka1, Ryuichi Ohta1, Hiroshi Yamaguchi1, Yoshitaka Taniyasu1, Hajime Okamoto1 (1.NTT BRL)
Keywords:
Bulk acoustic wave,Piezoelectric transducer,epitaxial AlN
n-SiC上にエピタキシャル成長したAlNをトランスデューサとして使用した高倍音バルク音響共振器を作製した。トランスデューサの高次モードはミリ波帯（30-300 GHz）で動作しており、高品質なAlNエピタキシャル膜により、ミリ波帯の超高周波領域においても弾性波の励振が可能であることが明らかとなった。