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3:00 PM - 3:15 PM JST(6:00 AM - 6:15 AM UTC)Presentation by Applicant for JSAP Young Scientists Presentation Award

[21p-A302-9]Effects of Microwave Irradiation on Mechanical Property of Plasma-damaged Silicon Nitride Films

〇Takahiro Goya¹, Keiichiro Urabe¹, Koji Eriguchi¹ (1.Kyoto Univ.)

Keywords:

plasma-induced damage,microwave irradiation,nanoindentation

薄膜の機械特性は半導体デバイス性能および信頼性を決定付ける1つの要素である．プラズマプロセスは超微細加工を実現する一方で表面近傍での物性変化（プラズマダメージ：PID）が課題である．そのため，PIDを考慮した機械特性制御設計が重要となる．本研究では原子スケール欠陥へのマイクロ波照射効果に着目し，機械特性への影響を評価した．繰り返しナノインデンテーション法で得られた機械特性変化に関して議論する．

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