講演情報
[21p-A302-9]プラズマダメージを受けたシリコン窒化膜機械特性に対するマイクロ波照射効果
〇郷矢 崇浩1、占部 継一郎1、江利口 浩二1 (1.京大院工)
キーワード：
プラズマダメージ,マイクロ波照射,ナノインデンテーション
薄膜の機械特性は半導体デバイス性能および信頼性を決定付ける1つの要素である．プラズマプロセスは超微細加工を実現する一方で表面近傍での物性変化（プラズマダメージ：PID）が課題である．そのため，PIDを考慮した機械特性制御設計が重要となる．本研究では原子スケール欠陥へのマイクロ波照射効果に着目し，機械特性への影響を評価した．繰り返しナノインデンテーション法で得られた機械特性変化に関して議論する．