[21p-C402-1~16] 6.2 Carbon-based thin films

2:15 PM - 2:30 PM JST(5:15 AM - 5:30 AM UTC)

[21p-C402-4] Analysis of stripe contrast observed in cross-sectional SEM image of (001) diamond films heteroepitaxially grown on Ir/sapphire substrates

〇Kouki Mochizuki¹, Osamu Maida¹, Seongwoo Kim², Manabu Kato², Koji Koyama², Tatsuya Honda², Shuhei Ichikawa¹, Kazunobu Kojima¹ (1.Osaka Univ., 2.Orbray)

Keywords:

diamond films

Ir/sapphire基板上(001)ヘテロエピタキシャル成長ダイヤモンド結晶の断面に対して、ラマン分光およびカソードルミネッセンス(CL)分光測定を行い、その結晶性を評価した。SEM観察では結晶断面全体にわたって縞状のコントラストが見られ、ラマン分光評価によりこのコントラストとD-bandとの間に相関が見られた。さらに、CL分光評価により縞状の明暗部はそれぞれ結晶中への窒素の取り込まれ方が異なることが示唆された。