講演情報
[21p-C402-4]Ir/sapphire基板上ヘテロエピタキシャル成長(001)面ダイヤモンド膜の断面SEM像に見られる縞状コントラストの分析
〇望月 梧生1、毎田 修1、金 聖祐2、加藤 学2、小山 浩司2、本田 達也2、市川 修平1、小島 一信1 (1.阪大院工、2.Orbray)
キーワード：
ダイヤモンド薄膜
Ir/sapphire基板上(001)ヘテロエピタキシャル成長ダイヤモンド結晶の断面に対して、ラマン分光およびカソードルミネッセンス(CL)分光測定を行い、その結晶性を評価した。SEM観察では結晶断面全体にわたって縞状のコントラストが見られ、ラマン分光評価によりこのコントラストとD-bandとの間に相関が見られた。さらに、CL分光評価により縞状の明暗部はそれぞれ結晶中への窒素の取り込まれ方が異なることが示唆された。