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[21p-C402-7]Fabrication of Li-dope diamond by nuclear transformation (3) -Investigation of thermal diffusion of Be in diamond epitaxial growth thin film-

〇Yasuto Miyake1, Hiroki Okuno1, Hideyuki Watanabe2 (1.RIKEN RNC, 2.AIST)

Keywords:

diamond,nuclear transformation,berylium

本研究では、放射性同位体元素 7Be の 7Li への核種変換反応を利用して、Li を欠陥生成なしにドープしたダイヤモンドを製作することを目的とする。今回我々は、HPHT Ib型単結晶ダイヤモンド(001)基板上にマイクロ波プラズマCVD薄膜堆積装置でホモエピタキシャル成長させた薄膜についてダイヤモンド結晶中の9Beの拡散について評価した。発表では、Beの熱拡散についてこれまで得られた知見を発表する。